1、真空設(shè)備--產(chǎn)生、改善或維持真空的裝置。包括各種獲得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空機(jī)組。

A、機(jī)械真空泵：旋片泵、往復(fù)泵、滑閥泵、羅茨泵、分子泵和液環(huán)泵等。

B、蒸汽流真空泵：水蒸汽噴射泵、油增壓泵和油擴(kuò)散泵等。

C、氣體捕集真空泵：鈦濺射離子泵、低溫泵、分子篩吸附泵和鋯鋁吸氣泵等。

D、真空機(jī)組：即由產(chǎn)生真空、測量真空和控制真空等組件組成的各類機(jī)組。

2、真空應(yīng)用設(shè)備～在真空環(huán)境下(低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài))，應(yīng)用的各種設(shè)備。

A、真空鍍膜機(jī)：蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺射鍍膜機(jī)、離子鍍膜機(jī)和等離子化學(xué)沉積裝置等。

B、真空冶煉爐：電阻爐、電子束爐、電弧爐、感應(yīng)爐和單晶爐等。

C、真空熱處理爐：淬火爐、回火爐、退火爐、滲碳爐、滲氮爐和滲金屬爐等。

D、其它真空設(shè)備：冷凍干燥設(shè)備、蒸餾設(shè)備、提純設(shè)備、浸漬設(shè)備、果蔬保鮮設(shè)備、運(yùn)輸設(shè)備、空間模擬設(shè)備、包裝機(jī)和鋼水脫氣裝置等。

3、真空測量儀器一測量低于一個(gè)大氣壓的氣體和蒸汽壓力的儀器。

A、低真空計(jì)(測量范圍105---102Pa)。

B、中真空計(jì)(測量范圍l02一l0-1Pa)。

C、高真空計(jì)(測量范圍l0-1一10-5Pa)。

D、超高真空計(jì)(測量范圍< 10-5Pa)。

4、真空檢漏儀一檢測真空系統(tǒng)或元件漏孔的位置或漏率的儀器。包括高頻火花檢漏儀、鹵素檢漏儀和氦質(zhì)譜檢漏儀等。

5、真空閥門一在真空系統(tǒng)中，用于調(diào)節(jié)流量、切斷或接通管路的元件。包括插板閥、擋板閥、電磁閥、電磁帶放氣閥、隔膜閥和調(diào)節(jié)閥等。